氧化镓衬底和外延片的常规晶向、掺杂、尺寸以及切割介绍

氧化镓衬底片：

1. 001向Sn、UID；10mm×15mm、2inch、4inch。

2. -201向Sn、UID；10mm×15mm、2inch。

3. 010向Sn、UID；10mm×15mm。

氧化镓外延片：

HVPE Epi和MBE Epi两种

氧化镓片切割尺寸和方式：

可切割为5mm×5mm,10mm×10mm,5mm×10mm,5mm×7.5mm等

切割方式为刀片式切割