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钽罩是什么,有什么作用
钽罩是碳化硅晶体生长炉的关键部件,在PVT法、Gas法等晶体生长炉长晶时起到关键作用,可以有效提高晶体质量,减少晶体不良率,防止设备内部污染。
2023-02-27 11:07:13
钽罩是碳化硅晶体生长炉的关键部件,在PVT法、Gas法等晶体生长炉长晶时起到关键作用,可以有效提高晶体质量,减少晶体不良率,防止设备内部污染。
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