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小型研磨&抛光设备MA-400e
原厂品牌：
原厂介绍：
日本武藏野电子株式会社创立于1977年，位于日本东京都武藏野市。武藏野电子长年研究半导体基板的精密加工，专门设计与制作研究型的小型设备。包括研削，研磨，抛光，线切割，刀具切割，划片等设备。因设备的小型化及精密化，深得企业研发中心以及大学研究室的喜爱，在研发领域具有绝对占有权。不仅在硅片领域，同时涉及化合物半导体以及最先端材料的研究，为行业提供各种解决方案。
产品图片：
产品型号:
MA-400e
产品介绍：
1. 精密研磨设备MA-400e可以在完成高精度研削的定盘上直接安装主轴。主轴采用高精度方位角来调整轴振动，成功实现在基准桌上±10μm以内的面振动精度。
2. 无整流直流电机不会因负荷的变动而影响回转数的变化，可实现高精度的研磨效果。
3. 自动研磨结构保持单元，KORO式摇动保持单元和各种试料的组合，电子材料、电子部品、陶瓷、金属材料、TEM、SEM、SIMS试料的前处理、
4. 利用Ｘ線得出方位、实现高精度的自动研磨。
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