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晶片边缘轮廓仪

原厂品牌:

原厂介绍:

株式会社雄飞位于日本东京都,从Si基板的倒角技术开始,到专攻化合物半导体基板,约有50年的制造及销售经验,累积生产台数超过1000台。在日本具有最大的综合占有率,Si,LT,LN,蓝宝石行业都具有最强的市占率。同时在第三代半导体及第四代半导体,都保持着最高的技术及市场布局。接下來的几年內,会慢慢转向OEM模式,同时也在布局国产化的推进。

产品图片:

产品型号:

产品介绍:

测量晶片表面边缘形状、定位边形状、缺口形状。一台即可完成全部测量。

轮廓测试数据:

    • 非接触式测量
    • φ2”~φ300mm
    • 晶圆厚度:t200 μm 至 t1,500 μm(根据厚度需要更换镜头)
    • 单色130万像素 CCD 相机
    • 直径测量(可选)

本轮廓仪与我们的倒角机可以结合使用,将配置文件数据发送到倒角机以进行自动校正。 如需自动化机器,请联系我们。

 

有任何相关问题请联系:022-28219577